半导体废水处理工艺
1.项目概述
本文以浙江某半导体电子产业废水处理工程为例，系统介绍了整体处理工艺流程和设备参数的选择。进水水质和排放标准见下图。
2.生产过程说明
废水分为三种:酸碱废水、含氟废水和研磨废水。具体处理流程如下:
2.1酸碱废水处理工艺
酸碱废水主要是含酸和含碱的废水。根据浓度的不同，常用的工艺主要有pH中和法和浓缩法。根据本项目酸碱废水的pH范围和工程造价，本工艺采用pH中和法。
主要过程如下:酸碱废水进入酸碱废水调节池，曝气混合均匀后，由水泵提升进入pH中和池进行三级酸碱加药反应。调节pH至中性，出水进入排放池，达到排放标准。
2.2含氟废水处理工艺
吸附法和化学加药混凝法是处理含氟废水的常用方法。本项目进水氟离子浓度为300mg/L，采用混凝沉淀法。另配一套活性氧化铝吸附装置。如果不达标，经氧化铝吸附后排放。
主要工艺:含氟废水进入含氟调节池曝气混合。然后用提升泵提升至含氟反应罐。罐内有一个pH计，控制加药泵的酸碱加入量，调节pH值到7 ~ 9，同时加入CaCl2反应生成沉淀。然后依次流入混凝池和絮凝池，通过加药泵分别投加PAC和PAM，进一步混凝沉淀。
2.3研磨废水处理工艺
研磨废水的主要成分是硅粉等无机悬浮物，SS较高。因此，通常采用化学混凝沉淀法作为预处理。
主要工艺流程如下:研磨废水进入研磨废水调节池，曝气搅拌后，由水泵提升至反应池，在池内调节pH值，投加PAC进行混凝沉淀，然后自流进入絮凝池，池内投加PAM，絮凝后进入沉淀池。上清液再次进入生化池。
3.主要结构和设计参数
3.1酸碱废水系统
3.1.1酸碱调节池
座位1，设计规模:2400m3/d，停留时间:3.3h，尺寸:5.3m×9.7m×6.0mH
主要设备:提升泵，2台(1+1)，Q=120m3/h，H=20m。
pH中和池
1、玻璃钢材料，停留时间30分钟，尺寸:4.9m×2.3m×5mH。
pH中和池
1个座位，玻璃钢材料，停留时间15分钟，尺寸:2.0m×2.3m×5mH。
pH中和池
31个座位，玻璃钢材料，停留时间15分钟，尺寸2.0m×2.3m×5mH。
3.2含氟废水系统
3.2.1含氟调节罐
座位1，设计规模:720m3/d，停留时间:3.6h，尺寸:2.1m×9.7m×6.0mH
主要设备:2台提升泵(1+1)，Q=40m3/h，H=20m。
3.2.2含氟反应罐
座1，玻璃钢材质，停留时间:15min，尺寸:1.5m×1.5m×5mH调节进水pH，同时加入CaCl2，与水中氟离子反应。
主要设备:桨式搅拌机1台，转速80转/分。
3.2.3含氟混凝池
座1，玻璃钢材料，停留时间15分钟，尺寸:1.5m×1.5m×5mH，加入PAC进行混凝。主要设备:桨式搅拌机1台，转速80转/分。
3.2.4含氟絮凝池
座1，玻璃钢材质，停留时间:15min，尺寸:1.5m×1.5m×5mH加入PAM使水中大分子凝聚，加速沉淀。
主要设备:1台框式搅拌机，转速为30转/分。
3.2.5含氟吸附罐(活性氧化铝)
大小:& # 248；2.8米×2.5米.如果氟离子超标，将废水切换到吸附池进行吸附处理。
3.3研磨废水系统
研磨调节槽
座1，设计规模:2320m3/d，停留时间:3.3h，尺寸:5.6m×9.7m×6.0mH主要设备:提升泵，2台(1+1)，Q=110m3/h，H=20m。
3.3.2研磨反应槽
座位1，玻璃钢材质，停留时间18分钟，尺寸:2.4m×2.8m×5mH。调节进水pH，同时投加PAC进行混凝沉淀。主要设备:桨式搅拌机，数量为1台，转速为80转/分。
3.3.3研磨絮凝池
座位1，玻璃钢材质，停留时间18分钟，尺寸:2.4m×2.8m×5mH。加入PAM，混凝沉淀。主要设备:框式搅拌机1台，转速40转/分。
3.3.4研磨初沉池
座1，设计规模:3040m3/d，停留时间:2.3h，尺寸:13.5m×4.6m×5mH废水进入沉淀池沉淀，上清液进入生化池。主要设备:污泥泵，2台(1+1)，2英寸。
3.4生化系统
水解池
A区/B2，停留时间:4.9h，尺寸:4.55m×8.8m×5.0mH，酸化大分子有机物，提高废水的可生化性。
3.4.2接触氧化池
A座/B2，停留时间:12小时，尺寸:长19.0米×宽4.55米×高6.5米。游泳池的通风。
3.4.3二沉池
A区/B2，停留时间:6.7h，大小:16.8m×4.5m×5mH沉淀生化污泥。上清液进入排放罐。主要设备:污泥泵，3台(2+1)，2英寸。将污泥送至污泥储槽。
3.4.4排放池
座位1，停留时间:0.5h，尺寸:5.3m×6.3m×5mH收集排出的废水，测量水中污染物指标，达标排放。主要设备:排放回流泵，2台(1+1)，Q=230m3/h，H=20m。
3.5污泥系统
污泥储槽
1个座位，尺寸:11.0米×4.6米×5小时。污泥被收集并送至压滤机进行干燥。主要设备:污泥压滤机泵，2台(1+1)，2英寸。
3.5.2污泥脱水系统
干污泥量为750kg/d，污泥含水率为98%，经板框压滤后含水率达到70%。污泥上清液回流至调节池进行再处理。
主要设备:板框隔膜压滤机，过滤面积120m2，过滤压力0.8MPa，滤板材质:增强聚丙烯。
4.运营效果和成本
4.1运行效果
2017年5月工程调试验收后，连续运行期间工程水质稳定，各项指标达到设计排放标准和验收标准。
4.2运营费用
连续运行时，电费为0.83元/m3，药剂费为1.74元/m3。由于自动化程度高，人工成本约为0.30元/m3，整体运行成本约为2.87元/m3。
5.结论
5.1本项目水量大(设计水量达到5000m3/d)，废水种类多，在半导体电子行业废水中具有代表性。废水分类处理能有效提高处理效率，保证出水水质。
5.2整个系统由PLC程序控制，自动化程度高，节省人工费用和运行费用2.87元/吨水。(来源:江苏中电创新环境科技有限公司)
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